Flachheizer aus Siliziumnitrid sind typischerweise rechteckig. Innerhalb unseres Matrizendurchmessers von 400 mm können verschiedene Maße und Losgrößen hergestellt werden. Die Eigenschaften der Keramik und die geringe Masse ermöglichen schnelle Aufheizraten, eine homogene Temperaturverteilung und sehr gute Regelgenauigkeit. Kleine Heizelemente können geregelt mit einer sehr hohen Oberflächenleistung betrieben werden und erlauben hohe Prozesstaktzeiten. Aufgrund der geringen Wärmedehnung der Keramik bleibt die Oberfläche auch bei Temperaturwechselbetrieb im Vergleich zu Metallen sehr eben.
Vorteile
Welche Vorteile haben Sie?
Sie können die Wärme genau an die Stelle bringen wo sie benötigt wird
Schnelle Aufheizraten reduzieren Prozesszeiten und verkürzen Taktzeiten
Die inerte und chemisch resistente Keramik bringt keine Kontamination in ihre Anlagen
Kundenspezifisches Design
Unser hauseigenes Design bietet Anpassung der Größe, Bauform und Leistung sowie das Einbringen von Bohrungen für Halterung und Temperaturregelung. Außerdem sind gelaserte Vakuumrillen möglich. Die Flachheizer werden flachgeschliffen, können aber für besondere Anforderungen auch auf < 10 μm Ebenheit bearbeitet werden.