Massendurchflussregler F4H

für Gaskompaktdigital

Dieses Gerät ist ein hochleistungsfähiger kompakter digitaler Massendurchflussregler mit fortschrittlichen Funktionen für Anlagen. Es zeichnet sich durch hohe Geschwindigkeit und einen weiten Bereich der Durchflussregelung sowie eine Genauigkeit von 1%SP aus. Durch die Isolierung der Stromversorgung vom Signalkreis können Störungen der Stromversorgung die analogen Signale nicht beeinträchtigen. Es realisiert die hohe Rauschtoleranz. Das Modell F4H ist 50% kleiner als unser herkömmliches Modell. Effektive Nutzung der digitalen Kommunikation Mit der Kommunikation des Modells F4H können viele für die Fehlerdiagnose nützliche Informationen hochgeladen werden. Mit einem intelligenten Geräte-Gateway (Modell NX-SVG) kann das Modell F4H auch mit großen speicherprogrammierbaren Steuerungen kommunizieren. Hohe Rauschtoleranz Der Signalstromkreis ist von der Spannungsversorgung isoliert. Dank dieser Eigenschaft hat das Rauschen der Stromleitung keinen Einfluss auf die Signale. Verringerung der Gesamtkosten Durch den Wechsel von einer analogen zu einer digitalen Verbindung mit der SPS kann das analoge E/A-Modul eingespart werden. PVD (Physikalische Gasphasenabscheidung) MFC versorgt die Kammer mit Argongas zur Erzeugung eines Plasmas.