Die kompakten Luftmassenstromsensoren der Serie MCS200 können mit Atmosphärenanalysatoren zur Messung des Luftdurchsatzes oder mit Gasanalysatoren zur Messung des Stickstoffdurchsatzes verwendet werden und können zur Bestätigung des Vakuumansaugens von winzigen elektronischen Teilen verwendet werden.
Im Vergleich zur MCS100-Serie sind diese Sensoren kleiner und leichter. Der Anschluss an die Rohrleitung erfolgt über Verteiler.
Beschreibung
Der MCS200 ist ein kompakter, schnell ansprechender Luft-/Stickstoff-Massendurchflusssensor, der mit dem Azbil-eigenen Massendurchflussmesser-Sensorchip ausgestattet ist. Der MCS200 gibt den in Normbedingungen (20 °C, 1 atm) umgerechneten Volumenstrom aus, ohne dass eine Temperatur- oder Druckkompensation erforderlich ist.
Der MCS200 bietet eine große Bandbreite und verschiedene Durchflussbereiche. Es ist ideal für Durchflussmessungen in zahlreichen wissenschaftlichen und industriellen Anwendungen.
Merkmale
Kompakt und leicht
S- und L-Typen: 28,2 x 10,0 x 12,1 mm (inkl. Befestigungslaschen und Anschlussbuchse), Gewicht nur 5 g.
R-Typ: 28,2 x 10,0 x 11,8 mm (inkl. Befestigungslaschen und Anschlussbuchse), Gewicht nur 5 g.
Kann auf kleinstem Raum durch Verteilerbefestigung installiert werden
Schnelle Reaktionszeit: max. 5 ms.
Hohe Genauigkeit
S- und L-Typen: +/- 3% FS
R-Typ: +/- 5% FS
Misst positiven oder negativen Durchfluss (nur Typ R)
Geringer Stromverbrauch
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