Thermischer Massen-Durchflussmesser CMS

Massenfür GasInline

Gasdurchflussmessgeräte mit hoher Leistung und großer Reichweite. Beschreibung Die Gasmassendurchflussmesser der CMS-Serie verwenden als Sensorelement unseren firmeneigenen thermischen Durchflusssensor. Durch die Integration dieses Ultraminiatur-Massendurchflusssensors, der mit Hilfe von Mikrobearbeitungstechnologie und einem fortschrittlichen ultrafeinen Kanaldesign hergestellt wird, wurde ein noch nie dagewesener Grad an hoher Genauigkeit und ein großer Messbereich bei niedrigen Kosten erreicht. Diese Durchflussmessgeräte, die sich sowohl durch einfache Bedienung als auch durch hohe Zuverlässigkeit auszeichnen, werden den Standard für die Zukunft setzen. Dieser thermische Durchflusssensor wird durch Silizium-Mikrobearbeitung und Dünnschichttechnologien hergestellt und ist nur 1,7 mm² groß und 0,5 mm dick. Durch den Einsatz von Ultrapräzisionsbearbeitungstechnologie werden Schwankungen im Elementlayout und in der thermischen Kapazität minimiert. Auf der Ebene des Sensorchips wird eine hohe Auflösung von 1 mm/s in der Strömungsgeschwindigkeit und eine Hochgeschwindigkeitsreaktion von etwa 2 ms erreicht. Wenn keine Gasströmung vorhanden ist, ist die Temperaturverteilung um die Heizung herum symmetrisch. Wenn das Gas von Ru nach Rd zu strömen beginnt, beginnt die Temperatur an Ru stromaufwärts zu sinken, während die Temperatur an Rd stromabwärts ansteigt, was zu einer Verzerrung der Symmetrie in der Temperaturverteilung führt. Diese Temperaturdifferenz zwischen Ru und Rd wird zur Berechnung der Massengeschwindigkeit (Geschwindigkeit x Dichte) verwendet.