Massendurchflussregler MFC 2252für Gaskompaktanalog
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Eigenschaften
- Technologie
- Massen
- Flüssigkeit
- für Gas
- Weitere Eigenschaften
- kompakt, analog, mit kurzer Ansprechzeit
- Durchsatz
Min: 0 l/min
(0 us gal/min)Max: 10 l/min
(2,64172 us gal/min)- Druck
Min: 0 Pa
(0 psi)Max: 5 Pa
(0 psi)
Beschreibung
■ ultrakompaktes Format
■ schnelle Einschwingzeit 1000:1
■ hohe Langzeitstabilität
Das Massenflussregler-OEM-Modul (MFC) von Axetris mit MEMS-Chiptechnologie auf Platinbasis garantiert hervorragende Stabilität und Wiederholbarkeit über den gesamten Durchflussbereich. Aufgrund des unübertroffenen Dynamikbereichs und der Multigas-Option können die MFC-Module mehrere herkömmliche Massenflussregler durch eine einzige Einheit ersetzen. Zielgase für dieses Modul sind N₂, Luft, O₂, CO₂, Ar, He und H₂.
Die Module sind derzeit für die Kommunikation über RS232 TTL oder EIA, RS485 Halbduplex oder Vollduplex und mit Analogsignal (0-5V oder 4-20mA) erhältlich.
- Gasflussregelung mit hohem Dynamikbereich
- Multigas-Option für maximale Flexibilität
- Geringer Platzbedarf für einfache Integration
Kataloge
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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.