Das attoAFM III ist ein Atomkraftmikroskop, das besonders für Anwendungen bei der niedrigen und ultra niedrigen Temperatur bestimmt ist. Wegen der nicht-optischen Scherkraftentdeckung, die auf einer Stimmgabel basiert, wird dieses System ideal für Anwendungen entsprochen, in denen Input des Lichtes problematisch ist. Eine typische Anwendung des attoAFM III Mikroskops scannt Tormikroskopie (SGM) auf Halbleiterstrukturen. Dieses Mikroskop ist mit den handelsüblichen Stimmgabelumkippungen kompatibel, und ist mit optionalem interferometric Kodierer für Scannen der Endlosschleife verfügbar.
Das attoAFM III benutzt einen Stimmgabel-Sensor als Entdeckungsmechanismus für die Spitzeprobenkräfte und erlaubt hoher Auflösung Darstellung des berührungsfreien Modus ohne den Bedarf an allen optischen Ablenkungsentdeckungstechniken. Eine AFM-Spitze wird auf eine Zinke einer kleinen Quarzstimmgabel geklebt, die dann aufgeregt wird, um in der horizontalen Richtung zu oszillieren. Die Abnahme am Umfang wegen der Spitzeprobeninteraktion, wenn das Nähern der Probe als Rückkopplungssignal überwacht und/oder verwendet wird. Die Kraftentschließung dieser Technik ist gewöhnlich 0,1 pN.
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