Die modulare Prozesskammer vermittelt eine Vielzahl von Möglichkeiten und wird kundenspezifisch konfiguriert hinsichtlich:
Gas- bzw. Luftdruck
Gasmenge und Gasspülung
Schleuse
Beleuchtung bzw. Bestrahlung
Arbeitshandschuhe
Temperatur, Feuchte, Gasdotierung, Gaszusammensetzung
Parallel- und Serienschaltung von Kammern
Kammeröffnung, Kammerverschluss, Kammerdichtung
Kammermaterial: Edelstahl, Plexiglas, Mineralisches Glas
Kammergröße: 120 liter
Abmessung, innen: T600 x B600 x H350 mm
Vakuumtechnik: PFEIFFER VC-Komponenten