Die Filterkerzen der L13E-Serie Ф131 mit ultrahohem Durchsatz sind speziell für die Nassverarbeitung in der TFT-LCD-Herstellung entwickelt worden, wie z.B. Substratreinigung, Ätzen, Stripping und DI-Wasserspülung. Die Filter sind in verschiedenen Materialien und mit einer Vielzahl von Abscheideleistungen erhältlich, mit ihrer einzigartigen Konstruktion und hohen Filtrationsfläche, was zu reduzierten Wechsel- und Betriebskosten führt. Sie sind hervorragend mit den verschiedenen Prozessflüssigkeiten kompatibel und können 200 l/min erreichen, die für den G6-10-Prozess erforderlich sind
Funktionen und Vorteile
● Erhältlich in verschiedenen Materialien und Abtragsleistungen
● Hohe Filtrationsfläche und lange Lebensdauer
● Hohe Durchflussraten und geringer Druckverlust
● Reduzierte Betriebskosten der Filtration
Qualität
● Kartuschen, die in einer kontrollierten Umgebung hergestellt werden
● Hergestellt nach ISO9001 zertifiziertem Qualitätsmanagementsystem
Spezifikation
Filterpatrone der L13E-Serie für die Nassreinigung
Konstruktionsmaterial
Membran
PP/PES/PTFE/PTFE
Unterstützung & Entwässerung
PP
Kern & Käfig
PP
Endkappen
PP
O-Ringe/Dichtung
EPDM/Viton/TEV
Dichtungstechnik
Thermische Verklebung, keine Klebstoffe
Abmessungen
Außendurchmesser
131mm (5.2 in)
Länge
10”
Filtrationsfläche
≥ 20.0 ft2(1.86 m2)
Entfernungswerte, μm
SEITEN: 2.0, 4.5, 10, 20, 30, 40
PES: 0.1, 0.22, 0.45, 1.2
PTFE: 1.0, 3.0, 3.0, 10
Maximale Betriebstemperatur
80℃(176℉)
Maximaler Vorwärts-Differenzdruck
4.1 bar @ 20 ℃/60 psid @ 68℉
3.4 bar @ 50 ℃/50 psid @122℉
3.1 Takt @ 80℃/45psid @ 176℉
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