Hochleistungs-HF-Magnetron-Sputterkathoden können erfolgreich in F&E- und Produktionsanwendungen eingesetzt werden, sofern bei der Konstruktion bestimmte Kriterien berücksichtigt werden.
Kreisförmige Hochleistungs-HF-Magnetrons werden direkt gekühlt und sind mit einem Außendurchmesser von 2″-8″ erhältlich.
Da die HF-Leistung mit einer hohen Frequenz arbeitet, ist es wichtig, dass die Magnetron-Sputterkathode so konstruiert ist, dass sie diese Leistung aufnehmen kann. Die Hochleistungs-HF-Magnetrons von Angstrom Sciences sind so konzipiert, dass sie die HF-Energie gleichmäßig über die Oberfläche des Targets abgeben und gleichzeitig eine geringe reflektierte Leistung und einen HF-Einschluss gewährleisten.
Hochleistungs-RF-Magnetrons sind sowohl in zirkularer als auch in linearer Konfiguration erhältlich.
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