Planer Magnetron

zylinderförmig

Angstrom Sciences ist international bekannt für die Spitzentechnologie, die wir für Magnetron-Sputter-Anwendungen einsetzen. Jetzt haben wir eine Methode entwickelt, mit der Sie Ihre vorhandenen zylindrischen Magnetrons mit unserem patentierten, profilierten Magnetdesign nachrüsten können - und damit den Angstrom Advantage™ für Ihren Prozess nutzen können. Wirtschaftliche Lösung Eine Nachrüstung mit zylindrischen Magneten bietet alle oben genannten Vorteile zu etwa einem Drittel der Kosten, die für den Ersatz Ihrer vorhandenen zylindrischen Baugruppe anfallen. -Voll in Edelstahl gekapselte Magnete > -Hocheffizienter Wasserdurchfluss -Kompatibel mit allen bestehenden Zielkonstruktionen -Nahtlose Integration -Stimmbare Gleichmäßigkeit -Verbesserte Umlenkung führt zu flacheren Erosionsprofilen -Verbessertes Abscheidungsprofil führt zu einer geringeren Ansammlung von Ablagerungen an den Kammerwänden -Höhere Feldintensität erreicht die typische Abscheiderate bei niedrigeren Leistungsstufen