Wolfram-Sputtertarget

Angstrom Sciences bietet eine ganze Reihe von UHV-Magnetron-Designs an, darunter unser "ONYX- UHV", das sich durch Ganzmetalldichtungen, Keramikisolatoren und demontierbare Magnetanordnungen auszeichnet. Die vollständig geschweißte Konstruktion ermöglicht ein Ausheizen bis 450ºC. Die "ONYX-UHV"-Rundkathoden sind mit einem Targetdurchmesser von 1″ (25 mm) bis 16″ (400 mm) erhältlich und mit dem gesamten Zubehör, den Magnetsätzen und den Merkmalen der Standard-Hochvakuumkathoden von ONYX kompatibel. ONYX-UHV-Linearkathoden sind auch in kundenspezifischen Targetgrößen erhältlich, um jede Anwendungsanforderung zu erfüllen. Ebenfalls erhältlich ist die "ONYX-HT" (eine Hochtemperaturvariante der ONYX-Standardkathode mit Vollkeramikisolatoren für den Hochtemperaturbetrieb, die eine "Beinahe"-UHV-Leistung bietet). Diese Magnetrons sind mit DC-, RF-, gepulsten DC- und HiPIMS-Stromversorgungen kompatibel. Außerdem wird eine breite Palette von Optionen angeboten, darunter Einschublängen, Blenden, Gaseinlässe und Abschirmungen gegen Kreuzkontamination.