Puls-Magnetron

Rotationkundenspezifisch

Angstrom Sciences bietet hochmoderne Magnetrons für praktisch jeden Standard-Sputterprozess. Aber wir wissen, dass jede Anwendung anders ist. Deshalb haben wir einen einzigartigen, modularen Ansatz entwickelt, der sich speziell an Ihre Spezifikationen anpasst. Mehr Fähigkeiten Angstrom Sciences entwickelt, konstruiert, fertigt und testet seine Magnetrons im eigenen Haus. So können wir die höchste Qualität und Kontrolle über Ihr kundenspezifisches Projekt garantieren. Angstrom Sciences nutzt die Finite-Elemente-Analyse (FEA) zur Modellierung von Magneten, um das Profil der Magnete an Ihre Prozess spezifikationen. Ganz gleich, ob Sie eine hohe Rate und einen hohen Durchsatz, eine hohe Gleichmäßigkeit und Targetausnutzung oder ein perfektes Gleichgewicht oder ein perfektes Gleichgewicht zwischen beidem - wir sorgen dafür, dass der Angstrom Advantage™ für Ihr Verfahren optimiert wird. Ganz gleich, ob Sie kundenspezifische Magnetrons, Montageteile, Flansche, Verschlussbaugruppen, Gasverteiler oder eine komplette Vakuumkammer benötigen kammer benötigen, Angstrom Sciences ist bereit, Sie zu unterstützen. Egal, ob Sie kundenspezifische Magnetrons, Montageteile, Flansche, Verschlussbaugruppen, Gasverteiler oder eine komplette Vakuumkammer benötigen kammer benötigen, Angstrom Sciences ist bereit, Sie zu unterstützen. Niederohmige Köpfe bieten Kompatibilität mit RF, DC, Mittelfrequenz-DC, gepulstem DC, HiPIMS und Mikrowellenleistung.