Magnetron

Bei der Diodenzerstäubung werden keine Magnete und somit auch kein Magnetfeld zur Eindämmung des Plasmas verwendet. Das bedeutet, dass die Plasmaionen frei durch das Vakuumsystem fließen und fast die gesamte Oberfläche des Targets erodieren, was die Targetnutzung erhöht. Dies bedeutet jedoch auch, dass sich die gesputterten Schichtpartikel frei in der Kammer und nicht direkt auf dem Substrat bewegen können. Dies kann die Prozesszeit erheblich verlängern, und da es keinen Elektroneneinschluss gibt, wird das Substrat stärker erhitzt. Angstrom Sciences bietet Dioden für alle Kathodengrößen an.