Puls-Magnetron

Rotation

Angstrom Sciences ist international für die Spitzentechnologie bekannt, die wir für Magnetron-Sputter-Anwendungen einsetzen. Jetzt haben wir eine Methode entwickelt, mit der Sie Ihre vorhandenen MRC-Magnetrons mit unserem patentierten, profilierten Magnetdesign nachrüsten können - und so den Angstrom Advantage™ für Ihren Prozess nutzen können. Wirtschaftliche Lösung Die Nachrüstung eines MRC-Magneten bietet die Leistungsvorteile unserer profilierten Magnettechnologie zu etwa einem Drittel der Kosten, die für den Austausch Ihrer gesamten MRC-Baugruppe anfallen würden. -Vollständig gekapselte Magnete -Turbulenter Wasserfluss -Erhöhter thermischer Wirkungsgrad schnelles und einfaches Drop-in-Design -Nahtlose Integration -High Utilization Array - 35% und mehr Zielausnutzung -High Uniformity Array - Erhöhte Homogenitätszone mit minimalen Einbußen bei der Auslastung -High Mag Array - Optimiert für das Sputtern von bis zu 0,500″ dickem Nickel mRC-Inset-Stil-Upgrades geklemmte Target-Konvertierungen -Kundenspezifische Targetbreiten 1,0"/ 1,5"/ 2,0"/ 3,0" -Zwei Zielscheiben in einem bestehenden Einzelraum. -Komplette Ersatzteile für jede Kathode.