Runder Magnetron

Für Anwendungen, bei denen das Substrat über längere Zeiträume hohen Temperaturen ausgesetzt werden muss, sind die Hochtemperatur-Rundmagnetrons von Angstrom Sciences mit keramischen Isolatoren und Vakuumdichtungen optimiert, die es der Kathode ermöglichen, ihre Leistungsparameter auch unter hohen Temperaturen aufrechtzuerhalten. Es sind Hochtemperaturausführungen erhältlich, die bei 200, 300 und 450 Grad Celsius betrieben werden können. Hochtemperatur-Rundmagnetrons sind für Basisdrücke im Bereich von 10-9mTorr ausgelegt und wurden speziell entwickelt, um Schwankungen, die während der thermischen Zyklen auftreten können, ohne Leckagen oder Abweichungen der Filmqualität zu ermöglichen.