Puls-Magnetron

rund

Indirekt gekühlte Magnetrons sind mit einer Zwischenwand zwischen dem Kühlwasser der Rundkathode und dem Sputtertarget ausgestattet. Diese Wand schafft eine permanente Abdichtung zwischen Wasser und Vakuum und verhindert Lecks, die auftreten könnten, wenn ein Target "durchgesputtert" wird Die indirekt gekühlten 1″- 4″ (25mm-100mm) Rundmagnetrons von Angstrom Sciences sind mit einer Targetklemme mit Gewinde und einer Anodenabschirmung ausgestattet, die sich an Sputtertargets unterschiedlicher Dicke anpassen. Der Wechsel des Targets bei der Gewindeausführung ist schnell und einfach und erfordert keine zusätzlichen Werkzeuge oder Geräte. Außerdem bilden die Targetklemme mit Gewinde und die Anodenabschirmung einen kompakten runden Magnetronkopf. Dadurch passen die kreisförmigen Magnetrons von Angstrom Sciences in enge Vakuumkammern und können im Vergleich zu herkömmlichen Magnetrons ein größeres Substrat im Verhältnis zu seiner Oberfläche sputtern. Indirekt gekühlte Magnetrons werden für Anwendungen mit geringer Leistung empfohlen und sind eine ideale Wahl für Forschungs- und Entwicklungsanwendungen. Weitere Informationen zu indirekt gekühlten Magnetrons erhalten Sie unter der Rufnummer 412-469-8466 oder kontaktieren Sie uns online.