Rotations-Magnetron

kundenspezifischrund

Rotationsmagnetrons sind Varianten eines Rundmagnetrons, bei denen der Magnetsatz mechanisch um eine zentrale Achse gedreht wird. Diese ursprünglich für Halbleiteranwendungen entwickelte Ausführung ermöglicht die gleichmäßige Beschichtung eines festen Substrats mit dem kleinstmöglichen Kathodendurchmesser. Weitere Anwendungen dieser Technologie sind Situationen, in denen die erneute Ablagerung von Material auf der Zielfläche zu Defekten in der wachsenden Schicht führt; bei einem Rotationsmagnetron wird die gesamte Zielfläche von einem zwischen 20 und 600 Umdrehungen pro Minute rotierenden Magnetsatz gesäubert. Angstrom Sciences bietet eine Reihe von Rotationsmagnetrons mit Durchmessern von 4″ (100 mm) bis 16″ (406 mm) an, die mit einer einstellbaren Magnetkonfiguration ausgestattet sind, die eine Prozessoptimierung und Verbesserung der Gleichmäßigkeit ermöglicht. Unsere Magnetrons können in internen oder externen Konfigurationen montiert werden. Ein rotierendes Magnetron bietet eine hervorragende Gleichmäßigkeit ohne Bewegung des Substrats. In Verbindung mit der vollflächigen Erosion führt dies zu extrem geringen Defekten, die durch Partikelverunreinigungen verursacht werden. Diese Magnetrons können auch in Maschinen mit begrenztem Platzangebot integriert werden und bieten so mehr Flexibilität für Ihre Anwendung.