Puls-Magnetron

kundenspezifischrund

Die zirkularen Magnetrons von Angstrom Sciences haben sich aufgrund des Angstrom Advantage™ und einer Vielzahl anderer Konstruktionsmerkmale, die nahezu unbegrenzte Möglichkeiten bei der Konfiguration und Prozessleistung bieten, als Standard in der Sputterindustrie etabliert. Ihr kompaktes Design macht unsere Ringmagnetrone ideal für jede neue oder nachgerüstete Anwendung, einschließlich der komplexesten Cluster-Baugruppen für die kleinsten Vakuumkammern. Die niederohmigen Köpfe bieten Kompatibilität mit RF, DC, Mittelfrequenz-DC, gepulstem DC, HiPIMS und Mikrowellenleistung. Wir verwenden ISO NW-Standardanschlüsse sowie Conflat®-Metalldichtungsflansche. Alle Versorgungsleitungen werden an der Atmosphäre gehalten und sind über Standard-O-Ring-Kompressionsverschraubungen zugänglich, die eine einfache Installation in jedem Vakuumsystem ermöglichen. Kreisförmige Magnetronquellen sind von 1″ (25 mm) bis 16″ (406 mm) und größeren Targetdurchmessern in Standard- oder kundenspezifischen Konfigurationen erhältlich. Unsere patentierte Targetklemme mit Gewinde und die Anodenabschirmung unserer kleinen Rundkathoden ermöglichen einen Targetwechsel ohne zusätzliche Werkzeuge. Dank der eingebauten Verstellbarkeit können Sie auch Targets unterschiedlicher Dicke einbauen, ohne irgendwelche Abstandshalter zu verwenden. ONYX®-Magnetrons können bei extrem niedrigem Druck (bis hinunter in den Bereich von 10-4 Torr) betrieben werden, und unsere direkt gekühlten Designs können Leistungsdichten von bis zu 250 Watt/in2 (30 Watt/cm2) im Dauerbetrieb liefern.