Puls-Magnetron

kundenspezifischLinearray

Da immer mehr Industriezweige die Geschwindigkeit, die Kontrollierbarkeit und die Vorteile des Magnetron-Sputterns für sich entdecken, entwickelt Angstrom Sciences Werkzeuge, um die Leistung dieser größeren, schnelleren Fertigungsprozesse zu maximieren. Breitere Lösungen Für diejenigen, die extrem breite Substrate beschichten oder einen extrem hohen Durchsatz erreichen müssen, bieten lineare Magnetrons die perfekte Lösung. Patentierte Vorteile Die linearen Magnetrons von Angstrom Sciences sind mit unseren vollständig gekapselten, patentierten, profilierten NdFeB-Seltenerdmagneten und einem turbulenten Wasserfluss ausgestattet, um eine unvergleichliche Leistung zu erzielen. Standard-Armaturen Wir verwenden ISO-NW-Standardanschlüsse sowie Conflat®-Metalldichtungsflansche. Alle Versorgungsleitungen stehen unter Schutzatmosphäre und sind über Standard-O-Ring-Kompressionsverschraubungen zugänglich, die eine einfache Installation in jedem Vakuumsystem ermöglichen. Vollständige Leistungskompatibilität Köpfe mit niedriger Impedanz bieten Kompatibilität mit RF-, DC-, DC-Mittelfrequenz-, gepulster DC- und Mikrowellenleistung. Bewährte Leistung Diese Magnetrons liefern die unvergleichliche Leistung, die Angstrom Sciences zum neuen Standard der Branche gemacht hat. Der Standardbetrieb bei extrem niedrigem Druck und außergewöhnlich hoher Leistung bietet Ihnen die perfekte Balance zwischen Gleichmäßigkeit, Auslastung und Rate in jeder Anwendung. Jede Länge ist machbar Die Linearkathoden von Angstrom Sciences sind in einer ganzen Reihe von Targetbreiten von 1"/25mm bis 16"/406mm und Längen bis zu 185"/4700mm erhältlich. Und natürlich sind wir in der Lage, kundenspezifische Magnetrons für Ihre Produktionsanforderungen zu entwickeln und zu bauen.