Zylinderförmiger Magnetron

Komplette Baugruppen, sowohl zum Einstecken als auch zur seitlichen Montage, sind mit 3″ (75mm) oder 5″ (125mm) Stützrohrdurchmessern in Längen bis zu vier Metern erhältlich, und mit einem minimalen Abstand von Quelle zu Quelle sind mehrere Inline-Arrays für kompakte Produktionssysteme mit hohem Durchsatz verfügbar. Das ONYX-Revolution™ nutzt ein universelles und kosteneffizientes Magnetdesign mit maßgeschneiderten Turnarounds für jeden Targettyp. Außerdem wurde es mit handelsüblichen Komponenten entwickelt, um eine kostengünstige, langfristige Investition und Zuverlässigkeit zu gewährleisten. Die patentierte profilierte Magnettechnologie von Angstrom Sciences erzeugt ein Abscheidungsprofil, das näher an der Norm zwischen der Quelle und dem Substrat liegt. Das verbesserte Abscheidungsprofil führt zu einer geringeren Ansammlung von Ablagerungen an den Kammerwänden. Darüber hinaus bietet die Magnetanordnung von Angstrom Sciences eine höhere Magnetfeldintensität, die es dem Benutzer ermöglicht, den Sputterprozess mit geringerer Leistung durchzuführen, um typische Abscheidungsraten zu erzielen. Zylindrische Magnetrons können bis zu dreimal so viel Targetmaterial aufnehmen wie ein planares Magnetron mit derselben Fläche. Die ONYX-Revolution™ von Angstrom Sciences optimiert die Materialinvestition mit einer Targetausnutzung von bis zu 85 % weiter. Außerdem führt der Betrieb bei niedrigeren Leistungsstufen zu einer typischen Energieeinsparung von 20 %.