Die spektroskopische Ellipsometersoftware PHE verfügt über eine Modell- und Filmbibliothek mit vorgegebenen Messparametern, die es dem Bediener ermöglicht, eine Anwendung auszuwählen und schnell eine Messung durchzuführen. Die Bibliothek umfasst mehrere hundert verschiedene Modelle. Die benutzerfreundliche PHE-Spektroskopie-Software ermöglicht es dem Anwender, mehrere Materialschichten und komplexe Dünnschichtstrukturen mit Mischschichten, Grenzschichten und vielem mehr zu messen und zu analysieren. Die hochmoderne Software verfügt über mehrere hundert Materialmodelle. Der Ellipsometer PHE-102 enthält die gesamte Hard- und Software, die zur Erfassung und Analyse aller Probendaten benötigt wird. Darüber hinaus ist die Ellipsometer-Software PHE-103 das umfassendste Programm zur Datenerfassung und -analyse. Es kombiniert modernste mathematische Anpassalgorithmen mit einer großen Auswahl an Modellierungsoptionen für eine schnelle und genaue Datenanalyse. Eine fortschrittliche spektroskopische Ellipsometrie-Software.
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