Die induktionsgeheizten Quarzrohröfen (IWQ Anlagen) von ALD finden viele Anwendungen, wenn in speziellen Hochtemperaturprozesse die Einsatzmaterialien von den Heizelementen isoliert werden müssen. In einem IWQ-Ofen erhitzte Materialien weisen einen hohen Reinheitsgrad auf, da keine chemische Wechselwirkung zwischen der Induktionsheizquelle und dem zu verarbeitenden Material besteht. IWQ-Systeme sind in einer Vielzahl von Größen bis zu 1 Meter Rohrdurchmesser und 2 Meter langen Prozesskammern erhältlich. Energie wird entweder über einen Suszeptor oder direkt über den Ladungsträger in das Einsatzmaterial eingekoppelt. Der induktionsbeheizte Quarzrohrofen eignet sich sowohl für reduzierende, oxidierende und inerte Atmospähren, sowie Vakuum für Temperaturen bis 2000 ° C. Die IWQ-Öfen bieten außerdem ein hohes Maß an axialer und radialer Temperaturgleichmäßigkeit.