AERZEN Spaltrohrmotor-Vakuumgebläse sind Verdrängungsgebläse mit hermetisch geschlossenem Antrieb und eignen sich für die Förderung von aggressiven und neutralen Gasen. Diese Vakuumsysteme sind in der industriellen Hochvakuumtechnik aufgrund ihrer hohen Leistung, Zuverlässigkeit und Effizienz von großem Nutzen.
Die Vorteile von AERZEN Spaltrohrgebläsen auf einen Blick:
Große Vielfalt mit vier Motorvarianten
Hochflexible Vakuumkomponenten mit vertikaler und horizontaler Durchflussrichtung
Pumpen mit hoher mechanischer Festigkeit (bis zu 230 mbar bei HM)
Geringe Wasser-, Stickstoffverbräuche
Reduzierte Abpumpzeiten
Neutrale oder agressive Gase? AERZEN bietet Lösungen für beide!
AERZEN Vakuumgebläse mit hermetisch gekapseltem Antrieb (HM) sind für die Förderung von neutralen und aggressiven Gasen konzipiert und finden besondere Anwendung in der industriellen Hochvakuumtechnik. Vakuumgebläse arbeiten immer in Kombination mit einer Vorpumpe*.
Diese Vorpumpe startet bei Atmosphäre. Die Vakuumpumpe wird klassisch bei ca. 50 bis 200 mbar zugeschaltet und der Abpumpprozess beginnt. Als Vorpumpe kommen je nach Applikation Flüssigkeitsringpumpen, Drehschiebervakuumpumpen oder auch Schraubenvakuumpumpen zum Einsatz. Bei Lieferung mit AERZEN Frequenzumrichtern und speziellen Parametersätzen ist auch ein Betrieb mit der Vorpumpe ab Atmosphärendruck möglich.
Anwendungen:
Halbleiterindustrie
Mikroelektronik
Herstellung von Flachbildschirmen
Lasertechnologie
Solartechnik
Helium-Lecksuchanlagen
Chemie- und Verfahrenstechnik
Folien- und Glasbeschichtung
Schmelzofenbau
Evakuierung von Wasserstoff