AERZEN Gebläse mit Spaltrohrantrieb sind für die Förderung von neutralen und aggressiven Gasen konzipiert und werden insbesondere in der industriellen Hochvakuumtechnik eingesetzt. Die Strömungsrichtung ist vertikal von oben nach unten und der Antrieb erfolgt über einen Schmalkeilriemen oder eine Direktkupplung.
Die Vorteile der AERZEN Vakuum-Gebläse auf einen Blick:
Hohe Reduzierung der Verdichtungsendtemperatur
Ausgezeichnete Systemvielfalt (weltweit größte Serie mit 11 lieferbaren Größen)
Keine zusätzlichen Ventile, Regler, etc. erforderlich
Geeignet für Dauerbetrieb ohne Überhitzungsprobleme
UNIVERSALGENIES FÜR JEDE ANWENDUNG.
Die AERZEN Gebläse mit Spaltrohrantrieb sind für die Förderung von neutralen (Ausführung HM) und aggressiven (Ausführung CM) Gasen konzipiert und finden spezielle Anwendung in der industriellen Hochvakuumtechnik. Spaltrohrgebläse arbeiten immer in Kombination mit einer Vorpumpe*.
Diese Vorpumpe startet bei Atmosphäre. Das Spaltrohrgebläse wird klassisch bei ca. 50 bis 200 mbar zugeschaltet und der Abpumpprozess beginnt. Als Vorpumpe kommen je nach Applikation Flüssigkeitsringpumpen, Drehschiebervakuumpumpen, Schraubenvakuumpumpen oder auch Gebläse zum Einsatz. Bei Lieferung mit AERZEN Frequenzumrichtern und speziellen Parametersätzen ist auch ein Betrieb mit der Vorpumpe ab Atmosphärendruck möglich.
Anwendungen:
Halbleiterindustrie
Mikroelektronik
Herstellung von Flachbildschirmen
Lasertechnologie
Solartechnik
Helium-Lecksuchanlagen
Chemie- und Verfahrenstechnik
Folien- und Glasbeschichtung
Schmelzofenbau
Evakuierung von Wasserstoff