Unsere luftgelagerten Drehtische der ABRT-Serie bieten eine überragende Winkelpositionierung, Geschwindigkeitsstabilität und Fehlerbewegungsleistung zusammen mit einer beeindruckenden Nutzlastkapazität und einer hervorragenden radialen und axialen Steifigkeit. Der ABRT wurde entwickelt, um die hohen Anforderungen der Waferinspektion, hochpräzisen Metrologieanwendungen, Röntgenbeugungssysteme, optischen Inspektion und Fertigung sowie der Herstellung von MEMS/Nanotechnologie-Bauteilen zu erfüllen.
•Zero-cogging-Motor für hervorragende Geschwindigkeitsstabilität
•Hervorragende Fehlerbewegungs- und Taumelperformance
•Direkt gekoppelter, hochpräziser Drehgeber
•Großer Durchmesser der Lichtaustrittsöffnung
•Kein mechanischer Kontakt
Überlegene mechanische Konstruktion
Die ABRT-Konstruktion zeichnet sich durch große luftgelagerte Flächen und innovative Vorspannung für hohe Steifigkeit und Belastbarkeit aus, wodurch nicht nur exzellente Axial- und Radialfehlerbewegungen, sondern auch hervorragende Kippfehlerbewegungen erzielt werden. Die daraus resultierende Leistung ist deutlich besser als bei anderen luftgelagerten Drehtischen und Spindeln, was für Anwendungen, die eine außergewöhnliche planare Leistung erfordern, von großem Vorteil ist. Darüber hinaus bietet diese Tischfamilie eine freie Öffnung, die für Produktdurchführung, Laserstrahlzuführung, Kabeldurchlass oder anwendungsspezifische Anforderungen genutzt werden kann.