Unsere luftgelagerten Drehtische der ABRS-Serie bieten eine hervorragende Winkelpositionierung, Geschwindigkeitsstabilität und Fehlerbewegungsleistung in einem außergewöhnlich flachen Gehäuse. Der ABRS wurde entwickelt, um die anspruchsvollen Anforderungen der Wafer-Inspektion, der Hochpräzisions-Metrologie, der Röntgenbeugungssysteme, der optischen Inspektion und Fertigung sowie der MEMS/Nanotechnologie-Bauteilfertigung zu erfüllen.
•Direkt angetriebener, nutenloser, bürstenloser Servomotor
•Null-Rastmoment-Motor für hervorragende Geschwindigkeitsstabilität
•Hervorragende Fehlerbewegungs- und Taumelperformance
•Direkt gekoppelter, hochpräziser Drehgeber
•Flachprofil-Planarausführung
•Kein mechanischer Kontakt
Das Design des direkt angetriebenen Drehtisches der ABRS-Serie wurde optimiert, um die Tischhöhe zu minimieren. Das niedrige Profil des Tisches reduziert die effektive Arbeitshöhe des Systems und minimiert so ""Stack-up""-bedingte Fehler. Zusätzlich zur geringen Bauhöhe bietet die ABRS-Serie eine freie Öffnung, die für Produktdurchführung, Laserstrahlzuführung, Kabeldurchlass oder anwendungsspezifische Anforderungen genutzt werden kann.