Radiofrequenz Plasma-Generator Paramount Plus

Mehrstufiges Pulsieren und Steuerung der Pulswellenform für neuartige Plasmaanwendungen Das Paramount Plus verfügt über die umfangreichsten Funktionen, die in einem gepulsten HF-Produkt verfügbar sind. Der Paramount Plus bietet präzise HF-Regelung, hochentwickelte Pulsmanipulation und fortschrittliche Datenerfassung. Der Paramount Plus deckt einen großen Bereich der HF-Energie ab - Frequenzen von 1 bis 60 MHz und Leistungen von 1,5 bis 15 kW - und bietet die Wiederholbarkeit und Zuverlässigkeit, die Sie benötigen. Paramount® Plus Gepulste-RF-Stromversorgungen Mit Multi-Level-Pulsing, Pulswellenform-Steuerung und dem umfangreichsten funktionsumfang eines gepulsten RF-Produkts ermöglicht die Paramount® Plus plattform die Möglichkeit, die Grenzen der Prozessinnovation zu erweitern und bietet das beste Preis-Leistungs-Verhältnis auf dem Markt. Ausgezeichnete Plasmastabilität, präzise RF-Regulierung, hochentwickelte Pulsmanipulation und fortschrittliche datenerfassung bieten den extremen Spielraum bei der Plasmakontrolle, der für für die nächste Generation von Knotenpunkten. BENUTZERVORTEILE präzise RF- und Pulssteuerung verbesserte Plasmastabilität und Prozesswiederholbarkeit schnelle Reaktion auf Veränderungen im Plasma flexibilität und Anpassungsfähigkeit für fortschreitende Fertigungstechnologien HALBLEITERANWENDUNGEN pVD pECVD ätzen