Mit dem Fortschritt der Fertigungstechniken stellen neue Materialien und Kathodendesigns größere Herausforderungen an die Prozessstabilität und die Wiederholbarkeit des Films. Ascent® AMS Stromversorgungen liefern stabile, wiederholbare Leistung, unabhängig von Prozessmaterial oder Kathodendesign. Das AMS bietet ein fortschrittliches Lichtbogenmanagement, das eine maximale Leistungsabgabe bei schnellerer Erholung zum Prozess ermöglicht. Die extrem schnelle Erholung bedeutet auch eine extrem niedrige Energieabgabe durch Lichtbögen, was eine Beschädigung des Substrats verhindert. Für Hochleistungsanwendungen kann der Ascent AMS in Primär-/Sekundärkonfiguration eingesetzt werden. Zu den üblichen Anwendungen gehören Leistungskonfigurationen über 100 kW. Durch die kombinierte Wasser-/Luftkühlung wird der Platzbedarf des Generators jedoch auf ein Minimum reduziert.
- Arc Management System™ (AMS)-Technologie - Kundenvoreinstellungen für Metall- und Keramik-Targets
- Set Point Compensation™-Technologie
- Arc Sync®-Technologie - primär/sekundär bis zu 12 Einheiten
- Ethernet, EtherCAT®, DeviceNet®, Profibus, RS-232/485, Ethernet/IP und analoge Kommunikation
- Erzielen Sie eine hohe Folienqualität und einen hohen Durchsatz
- Reduzieren Sie Schäden an Folie, Substrat und Ausrüstung
- Erzielung eines stabilen Durchsatzes und einer stabilen Leistungsabgabe unter extremen Lichtbogenbedingungen
- Leichte Integration und Steuerung
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