Radiofrequenz Plasma-Generator Paramount

Bringen Sie Ihre Prozessentwicklung mit einem neuen Fokus auf Betriebsflexibilität voran. Paramount® HF-Generatoren bieten einen großen Leistungsbereich, unterstützen mehrere Integrationsszenarien und sind mit seriellen/analogen Standardschnittstellen sowie weiteren optionalen Kommunikationsschnittstellen ausgestattet. Der Paramount HF ermöglicht eine hohe Plasmadichte und Ionenenergie, die für Bauelemente mit hohem Aspektverhältnis erforderlich sind, und beschleunigt den Prozess für den nächsten Knotenpunkt von Halbleiterverarbeitungswerkzeugen. Die digitale Architektur der Paramount-Plattform ermöglicht ein präzises Leistungsmanagement und rationalisiert die Integration neuer Funktionen - ohne Vorlaufzeiten oder Hardwareänderungen. Durch die Echtzeit-Erkennung von Plasmaveränderungen wird eine hohe Leistungsabgabe und wiederholbare Leistung erreicht. Interne Schutzgrenzen erleichtern den zuverlässigen Betrieb. - Vollständig digitale Steuerung - Frequenzabstimmung, Pulsung und Impulssynchronisation - Leistungs- und Impedanzmessung in Echtzeit - Lichtbogen-Management - Phasensynchronisation (CEX) - Verbesserte Plasmastabilität und Prozesswiederholbarkeit - Präzise Steuerung der RF-Leistung - Schnelles Reagieren auf Änderungen im Plasma - Leichte Anpassung an spezifische Anwendungsanforderungen