Berührungsloses faseroptisches Mehrkanal-Temperaturpyrometer mit konfigurierbarem Wellenlängenbereich
Das faseroptische Temperaturpyrometer (OFT) 4100T von Sekidenko misst die von einem Objekt abgestrahlte Infrarotenergie und wandelt sie in verwertbare Temperaturdaten mit Temperaturbereichen zwischen 60 und 3500 °C um. Das Pyrometer ist für eine Vielzahl von Messwellenlängen konfigurierbar, die auf Zielmaterialien, Prozesstemperaturbereichen und Arbeitsabständen basieren. Die Mehrkanalfunktion ermöglicht den Einsatz von bis zu vier Messkanälen mit separaten optischen Sensoren, die über Lichtwellenleiter verbunden sind. Das neue Touchscreen-Display ermöglicht es dem Benutzer, Einstellungen einfach und ohne Laptop vorzunehmen.
Das Gerät bietet eine überragende Leistung bei der berührungslosen Temperaturmessung durch die präzise Messung niedrigerer Signalpegel und das Ablesen niedrigerer Temperaturziele, bei denen Geschwindigkeit und Genauigkeit die wichtigsten Prozessanforderungen sind. Es ist mehrkanalfähig und unterstützt schnelle Ausleseraten von bis zu 1 kHz für anspruchsvollste Temperaturmessungen. Er ist modular aufgebaut und lässt sich leicht an die speziellen Anforderungen jeder Prozessanwendung anpassen.
MERKMALE
Verbesserte Wafer-zu-Wafer- und Wafer-interne Gleichförmigkeit
RF/EMI-unempfindliche Temperaturerfassung
Mehrere Wellenlängen mit einem Gerät möglich
RS-232/422, Ethernet, EtherCAT und analoge Schnittstellen mit Trigger- und Synchronisierungsfunktionen
BENUTZERVORTEILE
Berührungslose In-Situ-Temperaturmessung
Materialverarbeitung und -analyse
Hochflexible, modulbasierte Plattformarchitektur
Das Modell 4100T wird häufig in den Bereichen RTP, Laser-Glühen, HDPCVD, MOCVD, ALD, UV-Härtung und Solarzellenherstellung und -verpackung eingesetzt.
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