Temperaturwandler Luxtron M-1100

LWLfür DIN-Schienekompakt

Faseroptische Temperaturmessung für Halbleiter in Ätz- und Abscheidungsanwendungen Der Luxtron® M-1100 von Advanced Energy ist die neueste FluorOptic®-Thermometrie (FOT)-Wandlerplattform, die sich durch eine fortschrittliche Lichtquelle und eine verbesserte Elektronik mit sehr geringem Rauschen auszeichnet. Zwei neue firmeneigene Phosphorformulierungen VioLuxTM und RubiLuxTM wurden entwickelt, um 0,5°C Genauigkeit, Wiederholbarkeit und Stabilität über einen erweiterten Bereich von -200 bis 450°C zu bieten Messbereich von -200 bis 450°C zur Unterstützung moderner Ätzprozesse Hochentwickelte rauscharme Elektronik und Algorithmen ermöglichen eine Genauigkeit von mehr als 0,05° AccuDisc™-Sensoren ermöglichen die Trennung des Sensors vom Messfühler und damit eine höhere Genauigkeit und Wiederholbarkeit Erfahrenes Team unterstützt die Entwicklung kundenspezifischer Sonden für OEMs Kompakte DIN-Schienengröße zur Minimierung des Platzbedarfs bei der Integration in Werkzeuge und Geräte Unempfindlich gegenüber elektromagnetischen Störungen durch EMI, RF, Hochspannung und Mikrowellenquellen Vorteile Berührungslose Messung zur Minimierung des thermischen Offsets Einfacher Einbau in OEM-Geräte Merkmale Großer unterstützter Temperaturbereich Niedriger Rauschpegel mit schneller Reaktionszeit 5 Kanäle in einem einzigen Wandler Flexible Kommunikationsausgänge