OEM Modul / Glasfaser Luxtron m920 Series

Faseroptische Temperaturmessung für OEMs zwischen -100 und 330ºC Die Luxtron Vierkanal-Halbleitermodule m924 und m922 von Advanced Energy sind für die Temperaturüberwachung von Ätz- und Waferfabriken in elektrostatischen Chucks, Kammern und anderen Geräten konzipiert -Komponenten mischen und anpassen Arbeitet mit aktuellen Halbleitern der Marke Luxtron Fluoroptik-Sonden und Glasfaserverlängerungen -Eingebaute Kalibrierungstabellen passen zu kundenspezifischen AE-Sonden für hochgenaue Messungen -Eine Genauigkeit von bis zu ±0,05°C ist erreichbar (sondenabhängig) Übersicht Die komplette OEM-Lösung der Luxtron® m920-Serie wird aus der Elektronikbaugruppe mit zwei Platinen und Sonden aufgebaut. Die Hauptplatine enthält faseroptische Temperaturmesskanäle, Digitalausgang (RS232 ASCII und RS485 Modbus) und Stromanschluss. Die analoge Ausgabekarte bietet einen Ausgang von 0 bis 10 V oder 4 bis 20 mA und ist über der Hauptplatine montiert. Ein optionales Metallgehäuse ist ebenfalls erhältlich. Das System der m920-Serie basiert auf der Fluoroptic®-Technologie. Die Hauptplatine der m920-Serie konditioniert das Messsignal von fluoroptischen Sonden und meldet eine kalibrierte Temperatur an das OEM-Steuerungssystem. Vorteile Hohe Genauigkeit und einen hohen Temperaturbereich für verschiedene Ätz- und Waferfabriken zu erreichen -Überwachung schnellerer Rampenbedingungen mit einer schnellen Abtastrate -Mit dieser rauscharmen Lösung erhalten Sie bessere Temperaturmessungen -Nutzen Sie die Vorteile der hohen Zuverlässigkeit für niedrige Ausfallraten -Der Receive-Support unterstützt kundenspezifische Integration und Sondendesigns weltweit