Schnelles, berührungsloses optisches Temperaturpyrometer mit integrierter Reflexionsmessung und Emissionsgradkompensation
Der Sekidenko MXE von Advanced Energy misst mit ultrahohen Abtastraten (bis zu 10 kHz) und bietet eine Kombination aus Temperatur und aktivem Reflexionsgrad für eine präzise Steuerung dynamischer Prozesse.
-Präzise Temperaturmessung für eine geregelte Prozesssteuerung
-Konfigurierbare Wellenlänge basierend auf Materialtyp und gewünschtem Temperaturbereich
-Sowohl analoge als auch digitale Kommunikation
Übersicht
Das Pyrometer Sekidenko MXE kombiniert Geschwindigkeit und Präzision und ermöglicht eine präzise, berührungslose, wiederholbare Messung und Steuerung anspruchsvoller Anwendungen. Seine Hochgeschwindigkeitsleistung (bis zu 10 kHz) ist ideal für Prozesse mit beweglichen Zielen, wie z.B. rotierende Suszeptoren. Es eignet sich auch hervorragend für dynamische Prozesse, wie z.B. lasergestützte Bearbeitung oder Schnellglühen. Der bemerkenswert kompakte MXE lässt sich leicht integrieren. Seine flexiblen Steuerungsmöglichkeiten unterstützen eine Vielzahl von I/O-Protokollen.
Vorteile
-Verbessert die Genauigkeit der Temperaturmessung bei kritischen Prozessen
-Verbessert die Wiederholbarkeit und minimiert Schwankungen
-Erhöht die Produktivität, den Ertrag und den Durchsatz
-Erhöht die Stabilität und Zuverlässigkeit über mehrere Kammern und Substratmaterialien hinweg
Merkmale
-In-situ, berührungslose Temperatur- und Emissionsgradmessung
-Hochgeschwindigkeitsmessung ideal für eine Vielzahl von Anwendungen
Vielzahl von Temperatur- und Reflexionswellenlängen
EtherCAT®-, USB- und RS-232-Ausgangsoption
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