Optisches Pyrometer Sekidenko OR400M

digitalstationärkompakt

Einkanalige Temperaturmessmöglichkeit mit wählbarem/festem Emissionsgrad Der Sekidenko OR400M bietet die präzise Temperaturmessung, die für Halbleiteranwendungen, die längere Wellenlängen erfordern, unerlässlich ist. -Konfigurierbare Wellenlänge basierend auf Materialtyp und gewünschtem Temperaturbereich -Integrierter optischer Sensor -Sowohl analoge als auch digitale Kommunikation mit optionalen Feldbusprotokollen für die Regelung Übersicht Das optische Pyrometer OR400M von Advanced Energy erweitert die Flexibilität der Sekidenko-Produktfamilie in den mittleren IR-Wellenlängenbereich von 3,3 bis 5,2 µm.The OR400M bietet eine einkanalige Temperaturmessung für Dünnschicht-Solar-, Glas- und anspruchsvolle Halbleiterprozesse. Der OR400M unterstützt RS-232- und analoge Datenschnittstellen. Aufgrund seiner kompakten Bauweise kann der OR400M die Anforderungen vieler Prozessanwendungen mit geringem Platzbedarf problemlos erfüllen. Vorteile -Verbessert die Genauigkeit der Temperaturmessung bei kritischen Prozessen -Verbessert die Wiederholbarkeit und minimiert Schwankungen -Erhöht die Produktivität, den Ertrag und den Durchsatz -Erhöht die Stabilität und Zuverlässigkeit über mehrere Kammern und Substratmaterialien hinweg Merkmale -Berührungslose Temperaturmessung mit linsenförmigen optischen Sensoren -Automatische Umgebungstemperaturkorrektur -Branchenweit führende Temperatur- und Leseraten -Hochflexible, modulbasierte Plattformarchitektur -Vollständige I/O und externe Trigger/Synchronisationssuite