Pyrometer für Halbleiter Sekidenko OR400T

ohne Anzeigekompaktmit Glasfaser

Kompaktes, einkanaliges Lichtwellenleiter-Temperaturpyrometer für hochvolumige Halbleiteranwendungen Der Sekidenko OR400T liefert präzise, berührungslose Temperatur- und Emissionsgradmessungen in einer kompakten, modularen Plattform. -Konfigurierbare Wellenlänge basierend auf Materialtyp und gewünschtem Temperaturbereich Ferngesteuerte optische Sensoren oder Saphir-Lichtleiter für die In-situ-Messung -Sowohl analoge als auch digitale Kommunikation mit optionalen Feldbusprotokollen für die Regelung Übersicht Das Sekidenko OR400T ist ein einkanaliges, berührungsloses Lichtwellenleiter-Temperaturpyrometer, das die von einem Objekt abgegebene Infrarotenergie misst und in brauchbare Temperaturdaten (Grad °F oder °C) umwandelt. Der Sekidenko OR400T kann in einer Vielzahl von Messwellenlängen konfiguriert werden, die auf Zielmaterialien, Prozesstemperaturbereichen und Arbeitsabständen von 100 mm (3.9 in) bis 3000 mm (118.1 in) basieren. Die verfügbaren Temperaturbereiche sind: 50°C (122°F) bis 1600°C (2912°F). Vorteile -Verbessert die Genauigkeit der Temperaturmessung bei kritischen Prozessen -Verbessert die Wiederholbarkeit und minimiert Schwankungen -Erhöht die Produktivität, den Ertrag und den Durchsatz -Erhöht die Stabilität und Zuverlässigkeit über mehrere Kammern und Substratmaterialien hinweg -Individuelle Anpassung an individuelle funktionale und mechanische Anforderungen Merkmale -In-situ, berührungslose Temperaturmessung mit linsenförmigen optischen Sensoren oder Saphir-Lichtleitersensoren -Branchenweit führende Temperatur- und Leseraten -Hochflexible, modulbasierte Plattformarchitektur -Vollständige I/O und externe Trigger/Synchronisationssuite -Mehrkanalfähig und Leseraten bis zu 2 kHz