Roboter-Handhabungsgerät WHM

eingebautfür Wafer

Das von Adenso entwickelte WHM WaferHandling.Module mit einer zentralen Vakuumkammer und integriertem WHR WaferHandling.Robot ist für das Handling von Substraten/Carriern im Hochvakuum optimiert. Unser WHM WaferHandling.Modul arbeitet komplett autark, ist platzsparend und kann vollständig funktionsbereit unkompliziert an Ihre laufenden Prozess-Stationen angedockt werden – fertig ist Ihre Vakuum.Clusteranlage! WHR WaferHandling.Robot Vakuumkammer mit 4 bis 8 Ports LLM LoadLock.Module STEALTH.CARRIER WAM WaferAlignment.Module FLP FOUP300 VAC.LOADPORT Der Adenso WHR WaferHandling.Robot ist das Herzstück unserer modularen VAC.ROBOTICS Plattform. Der Adenso.WHR übernimmt Handling-Aufgaben von sensiblen und großflächigen Substraten im Bereich VakuumRobotik (Industrial VacBot) und ist für höchste Tragfähigkeit und große Reichweiten optimiert. Die einfache Armgeometrie erlaubt kleine Gateventile und kompakte Handling-Schwenkbereiche. Ihre Vorteile im Überblick REICHWEITE: Größte Verfahrwege – maximale Flexibilität NUTZLAST: Höchste Belastbarkeit – unbegrenzte Substratauswahl Intelligente Kinematik – kleinste Absperrschieber FOOTPRINT: Platzsparende Kinematik – kleiner Aufstellraum KOMPLEXITÄT: Keep it simple mit Adenso – Sparen Sie Platz und Geld!