CVD-Auftragsmaschine ULCoat

Durch die Injektion eines Vorläufers in das Plasma nach der Entladung trägt ULCoat dünne Schichten auf die behandelte Oberfläche auf. ULCoat ist ein System, das eine Vorstufe verdampft und unter die Plasmadüse injiziert. ULCoat wird in Verbindung mit einem OMEGA ULS-Generator eingesetzt. Das Standardgerät wurde für die Abscheidung von SiOx unter Verwendung eines metallorganischen Vorläufers entwickelt. Auf Anfrage können jedoch auch andere Rezepturen entwickelt werden. Das Prozessentwicklungslabor von AcXys Technologies steht Ihnen zur Verfügung, um im Rahmen eines Forschungs- und Entwicklungsvertrags die Anwendung zu entwickeln, die Ihren Anforderungen entspricht. ULCoat-Technologie - Gekoppelt an ULS OMEGA-Modul - Verwendet für die Abscheidung dünner Schichten - Einstellbare Dicke von 50 bis 1000 Nanometern - Gleichmäßige Schichtdicke mit +/- 2% Abweichung - Verarbeitungsgeschwindigkeit für die Behandlung bis zu 200 nm.cm2 / s - Die Standardversion ist für SiOx-Abscheidungen optimiert Einspritzdüse Der Fluss des Precursors wird vor seiner Injektion in das Plasma überwacht. Dieses Modul kombiniert die folgenden Elemente: - Vorläufertank - Kontrolle des Vorläuferflusses - Steuerung des Gasflusses - Heizungselement (optional) Intuitive digitale Schnittstelle mit Touchscreen - Integrierter Touchscreen (Fernbedienung bei OEM) - Intuitive Steuerung - Mehrsprachige Schnittstelle - Fehlererkennung und Fehlersuche - Anzeige von Anweisungen in Echtzeit Kompatibles Gas - Luft - Stickstoff - Andere Gasgemische