3-Achsen-Bearbeitungszentrum microSTRUCT OLED™

universellLaser

Im Verlauf des Herstellungsprozesses einer OLED müssen die verschieden dünnen Schichten strukturiert werden. Bisher wurden dafür mechanische und/oder nasschemische Verfahren eingesetzt. Eine neuartige innovative Lösung zur Strukturierung dieser dünnen Schichten bieten selektive Laserstrukturierverfahren. Die 3D-Micromac AG hat für diese Laser-Strukturierungsprozesse ein Maschinenkonzept entwickelt und erfolgreich am Markt positioniert. Basierend auf den microSTRUCTTM Laseranlagen wurde ein System entwickelt, dessen Hauptanwendung die selektive Strukturierung der Anoden-Schicht ist. Zumeist wird das nahezu transparente halbleitende Indiumzinnoxid (ITO) als Anodenmaterial verwendet. Der Einsatz von Ultrakurzpulslasern in der microSTRUCTTM garantiert dabei die schonende Strukturierung der Anode ohne dabei das Glassubstrat zu beschädigen. Besonderes Highlight ist die Bearbeitung von beliebigen Substratgrößen, welche durch ein neuartiges software-gesteuertes Bearbeitungskonzept realisiert wird. Abhängig von der gewählten Laserquelle und der Materialbeschichtung werden Strukturiergeschwindigkeiten von 1,5 m/s oder höher erreicht.