MT-100-Z70: Kleiner Messtisch mit hochauflösender Zoomoptik
Der Messarbeitsplatz MT-100-Z70 vereint das hochauflösende Optiksystem und die leistungsfähige Kameratechnik des Video-Zoom Mikroskops Z70 mit dem modularen Messtischsystem MT-100. Neben der fertigungsnahen optischen Material- und Produktprüfung eignet sich dieser Messarbeitsplatz bestens für Messungen in X-, Y- und Z-Richtung an Schichten und Strukturen.
Anwendungen:
Höhenmessung im μm-Bereich (Schicht- und Strukturdicken, Kratzer)
Messen von Flachteilen (Wafer und Masken)
Inspektion und Messung von Mikro- und Makrostrukturen
Materialuntersuchungen, metallografische Untersuchungen
Untersuchungen von Leiterplatten und Metall-Schliffproben
Vorteile
das Optik-Mechanik-Baukastensystem ermöglicht die flexible aufgabenspezifische Anpassung des Messarbeitsplatzes
Koaxialbeleuchtung und LED-Ringlicht sorgen für optimale Objektausleuchtung
Messtisch MT-100 mit Linearmesssystem ermöglicht höchste Positionier- und Messgenauigkeit
Software JE.Mess/JE.Control bietet umfangreiche Möglichkeiten zur Bildarchivierung, Dokumentation, Bearbeitung sowie eine Vielzahl an Messfunktionen
Optionen
Fokus- und Zoomeinstellungen motorisierbar
Auswahl zwischen verschiedenen Objektiven bestimmt Vergrößerungsbereich und Arbeitsabstand
Messtisch motorisch verfahrbar
Messtischgröße/Messbereich wählbar
Durchlichteinheit
Irisblende
Polarisationsfilter