Wafer-Ätzmaschinen

... Inductive Coupled Plasma Spule (MS-ICP) und ihrer Anwendung für Arrays von Verbindungshalbleitermaterialien. Der APX300-S kann Wafer verarbeiten, die in den Märkten für Leistungsbauelemente, SAW-Filter, Kommunikationsgeräte ...

... Wafern. Zudem ermöglicht der modifizierte Vorschub eine einfache Reinigung der Wellen. Eine organische Verschmutzung der Wafer durch das Transportsystem ist damit ausgeschlossen. Für eine minimale Verschleppung ...

... ebenfalls problemlos mit dem Omega SynapsEtch-Modul bearbeiten. Der Omega SynapsEtch ist kompatibel mit den LPX-, c2L- oder fxP-Wafer-Handling-Plattformen oder integriert mit verschiedenen SPTS-Ätz- und Abscheidungsmodulen ...

... wasserfreien HF/Alkohol-Ätzprozesses konzipiert. Der Monarch 3 ist ein kompaktes Modul mit einer 3-Wafer-Prozesskammer einschließlich eines halbautomatischen 3-Wafer-Laders mit Ladeschleuse und ist für ...

... Für Wafer bis zu 300 mm erfüllt diese vollautomatische Anlage alle Anforderungen für die High-End-Waferherstellung. Darüber hinaus garantiert die trägerlose Half-Pitch-Bearbeitung höchste Durchsatzraten bei gleichzeitig ...