Spektroskopische Ellipsometer

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... Das spektroskopische Ellipsometer VUV-VASE® mit variablem Winkel ist der Goldstandard für die optische Charakterisierung von Lithografie-Dünnschichten. Es misst Wellenlängen vom Vakuum-Ultraviolett (VUV) ...

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PHE 103

... verfügt über mehrere hundert Materialmodelle. Der Ellipsometer PHE-102 enthält die gesamte Hard- und Software, die zur Erfassung und Analyse aller Probendaten benötigt wird. Darüber hinaus ist die Ellipsometer-Software ...

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