Roboter für Wafer-Handling

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SCARA-RoboterYK-XG series

4-Achs Dosier für Wafer-Handling

SCARA-Roboter

YK-XG series

Maximalbelastung: 5 kg
Aktionsradius: 250, 350, 400 mm
Wiederholgenauigkeit: 0,01 mm

... Stellt die kleinen SCARA-Roboter vor. Merkmal Interne Struktur, die hohe Steifigkeit und hohe Genauigkeit erreicht. Völlig riemenlose Struktur Eine völlig riemenlose Struktur wurde durch die Verwendung einer ZR-Achsen-Direktkupplungsstruktur ...

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Pick-and-Place-Roboter

schreitend 5-Achs für Wafer-Handling

Pick-and-Place-Roboter

Der Roboter setzt Wafer (oder Zellen) vom Einlaufband auf das Auslaufband oder umgekehrt, dabei kann die Spuranzahl von eins bis fünf variieren. Außerdem können die Wafer in Fächer ...

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Delta-RoboterSIAX D3 500

4-Achs 3-Achs 5-Achs

Delta-Roboter

SIAX D3 500

Maximalbelastung: 2 kg
Aktionsradius: 500 mm
Wiederholgenauigkeit: 0,1 mm

Stromversorgung: 220V einphasig Installierte Leistung: 1,5 KW Feuchtigkeit: max. 95%. bis zu 200 Zyklen pro Minute. Freiheitsgrade: 3+2 (Handgelenk + Neigung).

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Sipro srl

Delta-RoboterSIAX D3 700 HS

4-Achs 3-Achs 5-Achs

Delta-Roboter

SIAX D3 700 HS

Maximalbelastung: 2 kg
Aktionsradius: 700 mm
Wiederholgenauigkeit: 0,1 mm

Stromversorgung: 220V einphasig Installierte Leistung: 2,1-2,7 KW Feuchtigkeit: max. 95%. Bis zu 150 Zyklen pro Minute. Freiheitsgrade: 3+1 (Handgelenk).

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Sipro srl

SCARA-RoboterIWH Series 1

für Wafer-Handling

SCARA-Roboter

IWH Series 1

Maximalbelastung: 0 kg - 1 kg
Wiederholgenauigkeit: 0,02 mm

Roboter der Serie 1 sind für das Waferhandling konzipiert. Durch das Baukastensystem sind verschiedene Grundkörper von 7“ bis 21“ Z-Hub, mit vielen verschiedenen Armbaugruppen von 10,5“ bis 28“ kombinierbar. Abhängig ...

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