Radiofrequenzen Plasma-Generatoren

Der luftgekühlte HF-Generator TruPlasma RF 1001 Air liefert bis zu 1000 Watt hochgenaue, reproduzierbare HF-Energie mit extrem feiner Auflösung – in 100-mW-Schritten – und ist damit für unterschiedlichste ...

... reproduzierbare Plasmastromversorgung an. Hierfür bieten die mit moderner Leistungselektronik ausgestatteten HF-Generatoren der TruPlasma RF Serie 1000 / 3000 (G2/13) die besten Voraussetzungen: Dank ihrer stabilen Ausgangsleistung ...

... Rampenzeit < 150 ns Dadurch sehr flexible Steuerung des Generator-Zündverhaltens möglich. Smartes Auto Frequency Tuning Automatische Frequenzanpassung für ein optimales Zusammenspiel zwischen Generator ...

Mit diesen HF-Generatoren gehen Sie auf Nummer sicher: Die TruPlasma RF Serie 3000 zeichnet sich durch eine robuste Bauweise und hohe Effizienz aus. Damit ist sie bestens geeignet für stabile, reproduzierbare Plasmaprozesse, ...

... Prozessen. Optimales Zusammenspiel des Gesamtsystems Fortschrittliche Software und verbesserte Kommunikation zwischen Generator und Matchbox. Echtzeitmessung der HF-Leistung Schnelle Nachführung des Systems bei ...

... Da die Halbleiterindustrie auf einen neuen Wendepunkt zusteuert, erfüllt der eVerest™ HF-Generator den Bedarf an einer transformativen Plasmasteuerung. Sein konfigurierbares Multi-Level-Pulsing ermöglicht sofortiges oder ...

... Die vielseitige Apex®-Familie von HF-Generatoren und Stromversorgungssystemen zeichnet sich durch ein kompaktes, modulares Design aus, das sich für die Kammermontage eignet. Die Apex-RF-Generatoren und -Stromversorgungssysteme nutzen ...

... präzise RF- und Pulssteuerung verbesserte Plasmastabilität und Prozesswiederholbarkeit schnelle Reaktion auf Veränderungen im Plasma flexibilität und Anpassungsfähigkeit für fortschreitende Fertigungstechnologien HALBLEITERANWENDUNGEN pVD pECVD ätzen ...

... Verbesserte Plasmastabilität und Prozesswiederholbarkeit - Präzise Steuerung der RF-Leistung - Schnelles Reagieren auf Änderungen im Plasma - Leichte Anpassung an spezifische Anwendungsanforderungen ...