Positioniertische für Wafer-Handling

Geschwindigkeit: 100, 15 mm/s
Ladung: 750 kg

... HEX-S6.50.200 6-Achsen Hexapod Dreifuß-Struktur Parallel sechs Freiheitsgrade Bühnen Kurze Beschreibung: Eigenschaften: Hohe Präzision, kann zusammengebaut werden, kann angepasst werden, Lichtöffnung 460mm Bietet konsistente und zuverlässige ...

Hub: 1 mm - 40 mm
Geschwindigkeit: 1 mm/s - 200 mm/s
Wiederholbarkeit: 0,3 µm - 5 µm

LA92 Hochgeschwindigkeits-UHV-Linearachse Anwendung: Hochauflösende und schnelle Scananwendungen Nutzen: Schnelle Positionierung im UHV, auch vertikal Merkmale: Hervorragende Auflösung, sehr schlank, mit internem Motor - Vakuum: ...

Hub: 1 mm - 100 mm
Geschwindigkeit: 1 mm/s - 10 mm/s
Wiederholbarkeit: 0,4 µm - 5 µm

LT300 Präziser Lineartisch für hohe Belastungen Anwendung: Transporttisch, Scanningtisch für hohe Lasten Vorteil: Hohe Lebensdauer trotz Trockenschmierung Features: Spindel mit Trockenschmierung oder Kugelumlaufspindel mit flüssigen ...

Hub: 1 mm - 300 mm
Geschwindigkeit: 1 mm/s - 10 mm/s
Wiederholbarkeit: 0,015 µm - 5 µm

LA97 Nanometer-Lineartisch Anwendung: Scannen Nutzen: Nanometer-Positionierung, auch vertikal Features: Positionierung mit extremer Auflösung und höchster Steifigkeit kann mit 2 (oder 4) Motoren ausgestattet werden - Vakuum: ...

Hub: 1 mm - 185 mm
Geschwindigkeit: 1 mm/s - 8,4 mm/s
Wiederholbarkeit: 0,4 µm - 5 µm

LA95 Anwendung: Transportstufe, Abtaststufe Vorteil: hohe Lebensdauer trotz Trockenschmierung Merkmale: Spindel mit Trockenschmierung oder Kugelgewindetrieb mit Flüssigschmierung - Vakuum: alle Druckbereiche ...

Hub: 1 mm - 10 mm
Geschwindigkeit: 0,2 mm/s - 10 mm/s
Wiederholbarkeit: 0,2 µm - 5 µm

MT53 Hochauflösender Mikrotisch Anwendung: Mehrzweck-Mikrotisch Vorteil: für hochauflösendes Scannen Merkmale: Positionierung mit sehr hoher Auflösung - Vakuum: alle Druckbereiche HV /UHV bis zu 10E-11 mbar - Schmierung: Flüssigkeit ...

Hub: 1 mm - 50 mm
Geschwindigkeit: 1 mm/s - 50 mm/s
Wiederholbarkeit: 0,3 µm - 5 µm

KT105-50 Hochauflösender XY-Tisch Anwendung: Vakuum-XY-Tisch Vorteil: schnell und hochauflösend Merkmale: Parameter für Gieren und Nicken dreimal besser als die Variante mit Blende - Vakuum: alle Bereiche HV / UHV bis zu ...

Hub: 1 mm - 100 mm
Geschwindigkeit: 1 mm/s - 10 mm/s
Wiederholbarkeit: 0,4 µm - 5 µm

KDT300 Stabiler Hochlast-xy-Tisch Anwendung: Transporttisch, Scanningtisch für hohe Lasten Vorteil: hohe Lebensdauer trotz Trockenschmierung Merkmale: hohe Lebensdauer trotz Trockenschmierung - Vakuum: alle Bereiche HV / UHV ...

Hub: 1 mm - 16 mm
Geschwindigkeit: 1 mm/s - 2,2 mm/s
Wiederholbarkeit: 1 µm - 5 µm

HT160 Präziser vertikaler Hubtisch für hohe Lasten Anwendung: Vakuumhebetisch Vorteil: hohe Steifigkeit und Belastung Merkmale: Keil mit Kugelumlaufspindel • - Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV bis zu 10E-11 mbar • - Schmierung ...

Hub: 1 mm - 16 mm
Geschwindigkeit: 1 mm/s - 16,6 mm/s
Wiederholbarkeit: 0,7 µm - 5 µm

HDT255 Hebetisch mit hoher Lastöffnung Anwendung: Vakuumhebetisch Vorteil: hohe Steifigkeit und Tragfähigkeit, Apertur Merkmale: Keiltisch mit Apertur - Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV bis zu 10E-11 mbar - Schmierung: ...

Hub: 1 mm - 25 mm
Geschwindigkeit: 1 mm/s - 3,4 mm/s
Wiederholbarkeit: 0,3 µm - 5 µm

HT240 Präziser vertikaler Hubtisch für hohe Lasten Anwendung: Vakuum-Hebetisch Vorteil: hohe Steifigkeit und Belastung Merkmale: Keil mit Kugelumlaufspindel • - Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV bis zu 10E-11 mbar • - Schmierung: ...