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Wiederholbarkeit: 1,5 µm - 3,5 µm
Ladung: 663 g
Hub: 40 mm
... Korrekturen in den drei lateralen Richtungen • Wiederholgenauigkeit bis 1.5 µm Das XYZ-Positioniersystem ist ein kartesisch angeordnetes Positioniersystem aus drei Miniatur-Lineartischen (3 x MT95). ...
Wiederholbarkeit: 2,3 µm - 4,5 µm
Ladung: 4,5 kg
Hub: 50 µm - 50 µm
Hochdynamisches 3-Achs-Justiersystem: Kundenspezifisch anpassbar: • µm-Präzision durch die hohe Steifigkeit • Belastbarkeit bis 45 N • Hohe Dynamik bei Geschwindigkeiten bis 30 mm/s • gute Ablaufwerte • minimaler Reibungswiderstand ...
Wiederholbarkeit: 5, 10 µm
Ladung: 4 kg - 25 kg
Geschwindigkeit: 0,1 m/s - 10 m/s
Das Z3TM+ erweitert das Portfolio von Modulen für die Bewegungsplattformen. Dieses Modul fügt vier unabhängige Freiheitsgrade hinzu, nämlich Tip, Tilt, Theta und Z-Achsen, eingebettet in eine vergrößerte Theta Hohwelle. Eine Konfiguration ...
Wiederholbarkeit: 5 µm
Ladung: 30 kg
Hub: 300 mm
... XY-Tische mit offenem Rahmen und niedrigem Profil für ein breites Spektrum an automatisierten, präzisen Positionierungen in mikroskopbasierten Anwendungen. Der Antriebsmechanismus befindet sich an der Seite des Geräts und bietet eine ...
Wiederholbarkeit: 1,5, 5,5 µm
Hub: 76 mm
Geschwindigkeit: 50 mm/s
... hochpräzise Positioniersystem ist speziell als ergänzender Polarisationsfilter für die Miniaturisierung und Automatisierung in der EUV-Lithografie entwickelt worden. Dieser maximiert die Belichtungsqualität als auch den ...
Steinmeyer Mechatronik GmbH
Wiederholbarkeit: 1,5, 2,5 µm
Hub: 50, 150 mm
Geschwindigkeit: 25 mm/s
... UV-Belichtungsmasken | Hochpräzises Positioniersystem für die Wafer-Belichtung in trockener Stickstoffatmosphäre Serienbaugruppen 786001:002.26 XY-Theta-Justage von UV-Belichtungsmasken | Hochpräzises ...
Steinmeyer Mechatronik GmbH
Wiederholbarkeit: 1,5, 2,5 µm
... zur hochpräzisen Justage von Linsen für Wafer Stepper | ultrafeine UV-Belichtung im Reinraum - Serienbaugruppen Hochpräzise Verstellung zweier Optiken Diese hochpräzise Doppel-Linearachse wurde speziell für Wafer-Stepper ...
Steinmeyer Mechatronik GmbH
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