Positioniersysteme mit Steuergerät

Wiederholbarkeit: 0,02 mm - 0,1 mm
Ladung: 3 kg - 120 kg
Geschwindigkeit: 100 mm/s - 4.000 mm/s

... Erfindungspatente, Gebrauchsmuster, Patente für das Erscheinungsbild und 76 Software-Urheberrechte. Das mehrachsige Positioniersystem kann aus mehreren linearen Modulen bestehen, um den Hub, die Präzision, die Geschwindigkeit ...

Wiederholbarkeit: 1 µm
Ladung: 15 kg
Hub: 200 mm - 1.000 mm

XYZ Gantry für hochdynamische Anwendungen Kundenspezifisch anpassbar • Ideal für hochpräzise und dynamische Anwendungen • Sehr großer Verfahrbereich von 1300 x 800 x 200 mm • Hohe Beschleunigungen und Geschwindigkeiten kombiniert ...

Wiederholbarkeit: 0,3 µm - 2,5 µm
Ladung: 5 kg - 20 kg
Hub: 100 mm - 720 mm

XYZ-Doppel-Inspektionsportal für Halbleiter Kundenspezifisch anpassbar • Ideal zur automatisierten Inspektion von Wafern / Halbleitern • Sehr großer Verfahrbereich von 2 x je 720 x 720 x 100 mm • Erlaubt die Integration von zwei ...

Wiederholbarkeit: 0,5 µm - 1,5 µm
Hub: 50, 150, 300 mm
Geschwindigkeit: 25 mm/s

XYZ System für Labor- und Waferinspektion Kundenspezifisch anpassbar: • Ideal für den Auf- und Ausbau Ihrer hochpräzisen Messstechnik • Sehr hohe Wiederholgenauigkeit bis 0.5 µm • Kleinste Schrittweiten und höchste Zuverlässigkeit ...

Wiederholbarkeit: 0,4 µm - 2,2 µm
Hub: 100 mm - 300 mm
Geschwindigkeit: 1,12 mm/s - 25 mm/s

XZ System für Labor- und Waferinspektion Kundenspezifisch anpassbar: • Ideal für den Auf- und Ausbau Ihrer hochpräzisen Messstechnik • Sehr hohe Wiederholgenauigkeit bis 0.4 µm • Kleinste Schrittweiten und höchste Zuverlässigkeit ...