Positioniersysteme mit Steuergerät

Wiederholbarkeit: 0,02 mm - 0,1 mm
Ladung: 3 kg - 120 kg
Geschwindigkeit: 100 mm/s - 4.000 mm/s

... Erfindungspatente, Gebrauchsmuster, Patente für das Erscheinungsbild und 76 Software-Urheberrechte. Das mehrachsige Positioniersystem kann aus mehreren linearen Modulen bestehen, um den Hub, die Präzision, die Geschwindigkeit ...

Wiederholbarkeit: 1 µm
Ladung: 15 kg
Hub: 200 mm - 1.000 mm

XYZ Gantry für hochdynamische Anwendungen Kundenspezifisch anpassbar • Ideal für hochpräzise und dynamische Anwendungen • Sehr großer Verfahrbereich von 1300 x 800 x 200 mm • Hohe Beschleunigungen und Geschwindigkeiten kombiniert ...

Wiederholbarkeit: 0,3 µm - 2,5 µm
Ladung: 5 kg - 20 kg
Hub: 100 mm - 720 mm

XYZ-Doppel-Inspektionsportal für Halbleiter Kundenspezifisch anpassbar • Ideal zur automatisierten Inspektion von Wafern / Halbleitern • Sehr großer Verfahrbereich von 2 x je 720 x 720 x 100 mm • Erlaubt die Integration von zwei ...

Wiederholbarkeit: 0,5 µm - 1,5 µm
Hub: 50, 150, 300 mm
Geschwindigkeit: 25 mm/s

XYZ System für Labor- und Waferinspektion Kundenspezifisch anpassbar: • Ideal für den Auf- und Ausbau Ihrer hochpräzisen Messstechnik • Sehr hohe Wiederholgenauigkeit bis 0.5 µm • Kleinste Schrittweiten und höchste Zuverlässigkeit ...

Wiederholbarkeit: 0,4 µm - 2,2 µm
Hub: 100 mm - 300 mm
Geschwindigkeit: 1,12 mm/s - 25 mm/s

XZ System für Labor- und Waferinspektion Kundenspezifisch anpassbar: • Ideal für den Auf- und Ausbau Ihrer hochpräzisen Messstechnik • Sehr hohe Wiederholgenauigkeit bis 0.4 µm • Kleinste Schrittweiten und höchste Zuverlässigkeit ...

Wiederholbarkeit: 1 µm
Ladung: 30 kg
Hub: 300 mm

... XY-Tische mit offenem Rahmen und niedrigem Profil für ein breites Spektrum an automatisierten, präzisen Positionierungen in mikroskopbasierten Anwendungen. Der Antriebsmechanismus befindet sich an der Seite des Geräts und bietet eine ...