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Wiederholbarkeit: 1,9 µm - 4,4 µm
Ladung: 50 kg
Hub: 100 mm - 1.000 mm
... Lebensdauer mit 1.000.000 Vollzyklen und einem Wartungsintervall von 500.000 Vollzyklen bzw. aller 2 Jahre Dieses Positioniersystem bewegt einen Vakuumchuck auf einer Fläche von 1000 x 1000 mm. An der Traversenachse ...
Ladung: 100 g
... Ein Scanner, der unter extremen Umgebungsbedingungen mit einer Auflösung im Sub-nm-Bereich arbeitet, wird in der präzisen Bildgebungstechnologie eingesetzt. *Anpassungen verfügbar ...
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