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Wiederholbarkeit: 0,5 µm - 2 µm
Hub: 100 mm - 600 mm
Geschwindigkeit: 25 mm/s - 200 mm/s
... 200 mm (XY) / 25 - 50 mm (Z) - Max. Last: 20 N (Z) - Antrieb: Linearmotor (eisenlos), Luftlager (XY) | Kugelgewindetrieb, DC-Motor, Kreuzrolle (Z) - Feedback: Linearmesssystem - Motion Controller: ...
Steinmeyer Holding GmbH
Wiederholbarkeit: 0,3 µm - 0,4 µm
Ladung: 15 kg
Hub: 200 mm - 1.000 mm
... - Max. Last: 100 N (X) / 500 N (Y) / 150 N (Z) - Antrieb: Linearmotor (eisenlos), Luftlager (XY) | Kugelgewindetrieb, DC-Motor, Kreuzrolle (Z) - Feedback: Linearmesssystem - Motion Controller: FMC-250/280, ...
Steinmeyer Holding GmbH
Wiederholbarkeit: 0,2 µm - 2 µm
Ladung: 15 kg
Hub: 10 mm - 600 mm
... - 20 mm (Z) - Max. Last: 150 N (Z) - Antrieb: Linearmotor (eisenbehaftet), Profilschiene (XY) | Kugelgewindetrieb, DC-Motor, Kreuzrolle (Z) - - Feedback: Linearmesssystem - Motion Controller: ACS, ...
Steinmeyer Holding GmbH
Wiederholbarkeit: 0,01 µm - 2,5 µm
Geschwindigkeit: 5 mm/s - 35 mm/s
... an dem verschienene Mikroskoptypen befestigt werden können. Spezifikationen: - Standardkomponente: KLT310-DC (XY), PLT160-DC (Z) / KT180-DC (XR, YR), DE-H100 (Rx, Rz1), DE-H50 (Ry, ...
Steinmeyer Holding GmbH
Wiederholbarkeit: 0,3 µm - 0,4 µm
Ladung: max 30.0 kg
Hub: 100 mm - 200 mm
... ) / 30 mm/s (Z) - Max. Last: 45 N (XY) / 150 N (Z) - Motor: DC-Motor, Kugelgewindetrieb (XYZ) - Feedback: Linearmesssystem Kundenspezifische Optionen: - Verschiedene Motorvarianten: ...
Steinmeyer Holding GmbH
Wiederholbarkeit: 0,3 µm - 0,5 µm
Hub: 50 mm - 200 mm
Geschwindigkeit: 30 mm/s
... Standardsystem: KT310-DC (XY) / PMT160-DC (Z) - Verfahrweg: 200 mm (XY) / 50 mm (Z) - Wiederholgenauigkeit: ± 0.5 - ± 0.7 µm (XY) / ± 0.3 - ± 2.4 µm (Z) - Geschwindigkeit: 30 mm/s (XYZ) - Max. Last: ...
Steinmeyer Holding GmbH
Wiederholbarkeit: 0,3 µm - 0,4 µm
Hub: 100 mm - 200 mm
Geschwindigkeit: 15 mm/s - 25 mm/s
... Wiederholgenauigkeit: ± 0.3 - ± 0.4 µm (XYZ) - Geschwindigkeit: 25 mm/s (XY) / 15 mm/s (Z) - Max. Last: 45 N (X) / 150 N (YZ) - Motor: DC-Motor, Kugelgewindetrieb (XYZ) - Feedback: ...
Steinmeyer Holding GmbH
Wiederholbarkeit: 2 µm
Hub: 65 mm
Geschwindigkeit: 25 mm/s
... XY) - Max. Lastmoment: 13 Nm (XY) - Motor: DC-Motor - Feedback: Motor-Encoder Kundenspezifische Optionen: - Verschiedene Motorvarianten: DC-Motor ...
Steinmeyer Holding GmbH
Wiederholbarkeit: 0,3 µm - 0,7 µm
Hub: 200 mm
Geschwindigkeit: 15 mm/s - 25 mm/s
... - Motor: DC-Motor, Kugelgewindetrieb (XY) / Manuell (Z) - Feedback: Linearmesssystem (XY) Kundenspezifische Optionen: - Verschiedene Verfahrwege bis 200 mm - Mit/ohne Granitgestell - ...
Steinmeyer Holding GmbH
Wiederholbarkeit: 0,001 µm - 4,5 µm
Hub: 50 mm - 360 mm
Geschwindigkeit: 50 mm/s - 200 mm/s
... ) - Motor: Dynamischer Linearmotor (eisenlos), Kugelgewindetrieb (X) / DC-Motor (Z) / Torquemotor (Phi (Rz)) - Feedback: Linearmesssystem (XZ) / Winkelmesssystem (Phi (Rz)) Kundenspezifische ...
Steinmeyer Holding GmbH
Wiederholbarkeit: 1 µm
Ladung: 30 kg
Hub: 300 mm
... XY-Tische mit offenem Rahmen und niedrigem Profil für ein breites Spektrum an automatisierten, präzisen Positionierungen in mikroskopbasierten Anwendungen. Der Antriebsmechanismus befindet sich an der Seite des Geräts und bietet eine ...
... XY- und XZ-Systeme mit verschiedenen Linearmotor-Achsen XY- und XZ-Systeme, die mit Standard-Linearmotorachsen aufgebaut sind, sind Bewegungssteuerungssysteme, die in einer Vielzahl von Automatisierungsanwendungen eingesetzt werden. Diese ...
Wiederholbarkeit: 1,5, 5,5 µm
Hub: 76 mm
Geschwindigkeit: 50 mm/s
Yield-Maximierung im kleinsten Bauraum Dieses hochpräzise Positioniersystem ist speziell als ergänzender Polarisationsfilter für die Miniaturisierung und Automatisierung in der EUV-Lithografie entwickelt worden. Dieser ...
Steinmeyer Mechatronik GmbH
Wiederholbarkeit: 0,3, 0,5 mm
Hub: 100, 820 mm
Geschwindigkeit: 150, 750 mm/s
Dieses Inspektionssystem besteht aus vier Reinraumachsen und ermöglicht die automatisierte Vermessung mehrer Objekte gleichzeitig. Hohe Dynamik und höchste Reproduzierbarkeit werden erreicht. Eine hochauflösende Kamera bzw. Sensor wird ...
Steinmeyer Mechatronik GmbH
Wiederholbarkeit: 1,5, 2,5 µm
Hub: 50, 150 mm
Geschwindigkeit: 25 mm/s
... UV-Belichtungsmasken | Hochpräzises Positioniersystem für die Wafer-Belichtung in trockener Stickstoffatmosphäre Serienbaugruppen 786001:002.26 XY-Theta-Justage von UV-Belichtungsmasken | Hochpräzises Positioniersystem ...
Steinmeyer Mechatronik GmbH
Wiederholbarkeit: 1,5, 2,5 µm
... mm • Genauigkeiten von 1.5 µm unter extrem trockenen Reinraumbedingungen • Einfache Wartung durch eine austauschbare Motor-Encoder-Baugruppe Besonderheiten: • UV-Verträglichkeit • Polierte Flächen • Ausführungen ...
Steinmeyer Mechatronik GmbH
Wiederholbarkeit: 0,6, 1 µm
Hub: 10 mm
Geschwindigkeit: 25 mm/s
... Additive Fertigung / 3D Druck Schnelle kurze Bewegungen mit hoher Präzision in der Vertikalen Dieses hochpräzise Positioniersystem ist speziell für kostengünstige Kontakt-3D-Druckverfahren entwickelt. Der Druckkopf ...
Steinmeyer Mechatronik GmbH
Universelles 4-achs-Granitportal mit Reinraumgehäuse Dieses XYZ Phi Positioniersystem lässt sich für verschiedene Test- und Prüfprozesse in der Halbleiter- und Elektronikfertigung bis Reinraum Klasse ISO 2 einsetzen. ...
Steinmeyer Mechatronik GmbH
... hochauflösende, automatisierte Aufnahmen | XYZ Phi Theta Omega Positioniersystem - Inspektion und Mikroskopie Automatisierte und hochauflösende Aufnahmen aus jedem Winkel Dieses 9-achs-Positioniersystem ...
Steinmeyer Mechatronik GmbH
Geschwindigkeit: 30 mm/s
... Verfahrwege bis 200 mm • Mit/ohne Granitgestell • Mit/ohne Vibrationsentkopplung • Schrittmotor, DC-Motor und verschiedene Messsystemauflösungen • Motorisierte Z-Achse z.B. mit dem ...
Steinmeyer Mechatronik GmbH
Geschwindigkeit: 30 mm/s
... Verfahrwege bis 200 mm • Mit/ohne Granitgestell • Mit/ohne Vibrationsentkopplung • Schrittmotor, DC-Motor und verschiedene Messsystemauflösungen • Motorisierte Z-Achse z.B. mit dem ...
Steinmeyer Mechatronik GmbH
... Kugelgewinde | Z DC-Motor, Kreuzrolle | Phi Torquemotor Hochpräzises Messsystem mit Linerachse für Drehachsen Dieses X-Z-Phi-Mehrachs-Positionierssystem besteht aus hochpräzisen und langlebigen ...
Steinmeyer Mechatronik GmbH
Wiederholbarkeit: 0,5, 0,15, 0,25, 0,1 µm
Ladung: 30 kg
Hub: 27,5, 25, 14 mm
... Referenzierung beim Einschalten erforderlich, Effizienz und Sicherheit im Betrieb können gesteigert werden. Bürstenloser DC-Motor (BLDC) Bürstenlose DC-Motoren eignen sich besonders ...
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