Piezoelektrische Nanopositioniertische

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linearer Nanopositioniertisch
linearer Nanopositioniertisch
PLF3232-x.60

SMARFLEX Nanopositionier-Scanner nutzen die Vorteile piezobetriebener mechanischer Biegungen zur Realisierung hochpräziser Positionieraufgaben bis zu mehreren 100 μm. Der PLF3232-x.60 bietet einen Scanbereich von 60 μm in X-Richtung. ...

Z-Nanopositioniertisch
Z-Nanopositioniertisch
PLF3232-z.60

SMARFLEX Nanopositionier-Scanner nutzen die Vorteile piezogetriebener mechanischer Biegungen zur Realisierung hochpräziser Positionieraufgaben bis zu mehreren 100 μm. Der PLF3232-z.60 bietet einen Scanbereich von über 60 μm in Z-Richtung. ...

linearer Nanopositioniertisch
linearer Nanopositioniertisch
PLF5252-x.200

SMARFLEX Nanopositionier-Scanner nutzen die Vorteile piezogetriebener mechanischer Biegungen, um hochpräzise Positionieraufgaben bis zu mehreren 100 μm zu realisieren. Der PLF5252-x.200 bietet einen Scanbereich von über 200 μm in X-Richtung. ...

vakuumkompatibler Nanopositioniertisch
vakuumkompatibler Nanopositioniertisch
LA97 series

Hub: 100, 200, 300 mm
Geschwindigkeit: 5 mm/s
Wiederholbarkeit: 0,015 µm - 0,02 µm

Nanometer-Linearachse HV / UHV, 100 - 300 mm Verfahrweg, 0.02 µm Wiederholgenauigkeit, bis 10 kg Last • Vakuum: alle Bereiche HV / UHV bis 10E-11 mbar • Schmierung: flüssig bis 10E-8 mbar / trocken bis 10E-11 mbar • Max. Ausheiztemperatur: ...

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Nanopositioniertisch mit paralleler Kinematik
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Hub: 100 µm
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• Parallelkinematisches Design für höchste Steifigkeiten in allen Raumrichtungen • Hochdynamische Bewegungen mit Lasten bis zu 100 g durch hohe Resonanzfrequenzen • Innovatives Produktdesign durch eine einzige, flexibel einsetzbare ...

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linearer Nanopositioniertisch
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Hub: 0,4, 0,2, 0,1 mm

... durch das Rauschen der Steuerelektronik begrenzt wird. Großer piezoelektrischer Verfahrbereich Die NPX Piezo Stack Lineartische verfügen über hochzuverlässige, mehrlagige, piezoelektrische ...

piezoelektrischer Nanopositioniertisch
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OP800

Hub: 800 µm
Geschwindigkeit: 17 m/s
Wiederholbarkeit: 6 nm

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XY-Nanopositioniertisch
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PXY Series

Hub: max 16.0 µm

Die Piezo-Positioniertische PXY basieren auf Piezo-Aktoren, welche mittels Festkörpergelenken dynamisch mit der Genauigkeit im Nanometerbereich präzise positionieren können. Die Piezo-Tische und Piezo-Scan-Antriebssysteme erreichen Positionierwege ...

Z-Nanopositioniertisch
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Model ZSA-1000C

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... Der piezoelektrische Nanopositioniertisch ZSA-1000C von DSM verfügt über eine biegegegeführte Bewegung über einen vertikalen Verfahrweg von 1 mm für Scan-, Mess- und Inspektionsprozesse. Das stabile und ...

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