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XYZ Positioniersystem für hochpräzise automatische optische Inspektion | Kugelgewinde, Kreuzrolle, DC-Motor, Linearmessystem Hochstabile berührungslose optische Vermessung im Submikrometerbereich Dieses ...
... Positionierbereich 25 × 25 × 5 mm • Auflösung 0,1 nm • 3D-Positionier- und Messsystem höchster Genauigkeit • Antastsysteme, z. B. Laserfokussensoren, Rasterkraftmikroskope, Weißlichtsensoren, 3D-Mikrotaster • ...
... steife Architektur der Positionieranordnung, die luftgelagerten Achsen des Positioniersystems und ein optimiertes Regelungssystem erlauben die Positionsabweichungen und Bahntreue der Bewegungen < 2 ...
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